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分析仪器物理仪器光学二次元三次元投影仪-能散型XRF
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面议所有的炉管均配备一个综合的晶舟处理系统，其可以存放多达8个工艺晶舟，同时也集成有一个晶圆传输系统。水冷式加热器外壳和软着陆系统设计能限度排除外部环境影响。且易于维护，能确保低维护成本及高的正常运行时间。
产品适用于退火、扩散、氧化、低压化学气相沉积、等离子增强化学气相沉积等工艺。
模块化部件设计，便于在洁净室内安装与启动生产
