一、设备用途：用于半导体样品的形貌、结构研究及样品的元素分析。

二、运行环境：

2.1  房间温度：15 - 25℃

2.2  相对湿度：小于60%

2.3  适用电源：单相，100V±10%，50/60Hz，5kVA，要求连续供电

2.4  地线：接地电阻小于100Ω

三、技术规格：

3.1  组成：主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统)，自动变压器，冷却循环水系统，计算机，标准工具及附件。

▲3.2  电子枪：冷场发射电子枪（含有Mild Flash技术 ，柔性）

*3.3  分辨率：SE分辨率：0.6nm@15kV (工作距离4mm) ，0.7nm@1kV （工作距离1.5mm）

*3.4电子束束流：≤20nA

3.5 放大倍率： 底片倍率：最小≤20倍，≥2,000,000倍，底片和显示器倍率可同时显示

▲3.6 加速电压

加速电压：0.5 ～ 30kV (10V/step)

着陆电压：0.01 ～ 20kV (10V/step)

最小加速电压:0.01kV

3.7 减速功能：样品台减速功能

3.8 自动电子光路对中调整：

自动电子束对中，自动光阑对中，自动像散对中，自动对焦调整，自动亮度对比度调整，自动像散调整

3.9 物镜光阑： ≥4孔，连续可调，具有自清洁可加热式光阑

*3.10 信号检测系统：

3.10.1 多功能信号探测器：有高位Inlens探测器、低位探测器及ExB信号选择系统，

3.10.2信号类型：可以接收SE、HA-BSE（高角背散射）、LA-BSE（低角背散射），SE+BSE实时混合，可以按99%任意比例选择接收SE和BSE信号，

3.10.3 BSE成像：2kV 以下也可以成BSE像，适合易损伤样品和易荷电样品，还原样品真实细节

3.11 样品室

*3.11.1  样品台驱动： 五轴机械优中心自动马达驱动；移动范围： X=0-110mm，Y=0-110mm，Z=1.5-40mm，R=360°，T=-5°～70°

3.11.2 样品尺寸：直径≥150mm，高度36mm

*3.12 样品换样方式

3.12.1 含有样品交换仓：支持放置直径≥150mm样品的交换仓

3.12.2规范化操作流程：预抽室端面透明，可观察到样品交换过程，具有样品安装警示灯提醒

3.13.支持真空转移预接接口，可支持后续加载真空转移系统

3.14 非接触防碰撞保护功能

3.15样品室多扩展接口：≥14个

3.16 预留EBSD的信号传输接口

3.17光镜导航功能：导航相机

3.18数字图像记录系统

3.18.1 图像处理软件：可以进行图像的处理、测量和编排实验报告

3.18.2 数据记录：照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等

3.19 扫描速度：

Rapid扫描：Rapid1～Rapid2 2种

Fast扫描： Fast1～Fast2 2种

Slow扫描： Slow1～Slow7 7种

CSS 扫描：  CSS1～CSS7 7种

Reduce 扫描：高，中，低，宽区快速，宽区慢速；    5种

*3.20 图像显示：双显示器双大画面显示（1280×960像素），6通道图像实时显示

*3.21 图像储存：640×480， 1280×960，2560×1920，5120×3840，10240×7680（高分辨拍照模式）像素，照片包括编号，加速电压，标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离等信息

3.22 图像类型： TIFF, TIFF（16bit）, BMP或JPEG

3.23 信号/图像处理功能：

像素积分改善S/N，框架积分，彩色图像显示，2色合成图像显示（保存图像），伪彩色图像显示（保存图像），针对保存图片的图像处理（灰阶变换，伽马调整，各种空间过滤处理）

3.24 实时图像伽马处理（Live Gamma）

3.25 支持后续扩展全自动操作智能软件，预留接口

3.26.真空系统：

3.26.1 排气控制：全自动真空阀

3.26.2 真空泵：分子泵260L/s×1；干泵×1；离子泵45L/s×2，NEG×1台

3.26.3 真空度：电子枪部分优于2x10-7Pa；样品室部分优于2x10-3Pa

3.27 样品更换抽真空时间：≤1.5分钟

3.28 真空规：全量程真空规×1，皮拉尼规×2

3.29 保护：断电、漏电、真空保护

3.30 配置离子溅射仪

4.能谱仪

4.1 探测器：硅漂移（SDD）电制冷探测器，采用场效应管（FET）一体化集成设计的高速SDD芯片；探测器有效芯片面积≥60 mm2，超薄窗设计，独立真空；在150,000CPS条件下Mn-Kα保证优于129eV，轻元素分辨率：C-Kα/57eV, F-Kα/67eV

4.2 信号处理单元与探测器采用分立式设计，输入计数率1,500,000CPS， 输出600,000CPS

4.3 元素分析范围: Be4～Cf98

4.4谱定性分析：可自动标识谱峰，可设定自动标定的元素范围，可进行谱重构，对重叠峰进行可视化谱峰剥离，并对重叠峰区域各种可能的元素进行搜索与再确认

4.5配备完善而精准的原子数据库，包含所有的分析线系(K, L, M 和 N线系)