在电子半导体行业中,钙镁离子和过碱量在线分析仪具有重要的应用:
对于钙镁离子的在线分析:
超纯水制备:电子半导体生产中需要大量的超纯水。钙镁离子含量过高会影响芯片制造过程中的清洗、蚀刻等环节,导致产品质量下降和良品率降低。在线分析仪能实时监测水中钙镁离子浓度,确保超纯水品质符合严格的行业标准。
化学药液控制:在晶圆制造的化学镀、刻蚀等工艺中使用的化学药液,钙镁离子的存在可能干扰反应过程,影响工艺稳定性和产品性能。通过在线分析,可及时调整药液成分,保证工艺的精准性。
过碱量在线分析仪的应用:
蚀刻液控制:蚀刻过程中,过碱量的准确控制对于蚀刻速率和蚀刻效果至关重要。在线分析仪能够实时提供过碱量数据,帮助优化蚀刻工艺参数,提高芯片的线路精度和质量。
清洗液监测:在晶圆清洗环节,合适的过碱量有助于去除杂质和污染物。通过在线监测过碱量,可以确保清洗效果,减少因清洗不导致的缺陷和次品。