解读等离子清洗机的构造与运行过程
时间:2024-03-19 阅读:170
等离子清洗机也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的"活性"组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。
根据用途的不同,可选用多种构造的等离子清洗设备,并可通过选用不用种类的气体,调整装置的基本结构大致是相同的,一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、点击、气体导入系统、工作传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵,高频电源通常用13.56MHz的无线电波,等离子清洗机的运行过程如下:
(1)被清洗的工件送入真空室并加以固定,启动运行装置,开始排气,使真空室的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。一般排气时间大约需要2min。
(2)向真空室引入等离子清洗用的气体,并使其压力保持在100pa。根据清洗材质的不用,可分别选用氧气、氢气、或氮气等气体。
(3)在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压,使气体被击穿,并通过辉光放电而发生离子化和产生等离子体。让在真空室产生的等离子体*笼罩在被处理工件,开始清洗作业。一般清洗处理持续几十秒到几分钟。
(4)清洗完毕后切断高频电压,并将气体及汽化的污垢排出,同时向真空室内鼓入气体,并使气压升至一个大气压。