产品名称

1200℃单温区经济型三路气体CVD系统

2

产品型号

YH-O1200-（50-100）IC150-D3FH

3

炉管直径

50mm、60mm、80mm、100mm（可选）

4

炉膛模式

开启式

5

炉膛材料

进口纤维

6

加热元件

进口合金加热丝

7

极限温度

1200℃

8

工作温度

≤1150℃

9

升温速率

≤20℃(建议:10℃/min)

10

加热温区

单温区

11

温区长度

440mm

12

恒温区长

200mm

13

炉管材质

高纯石英

14

   炉管长度

1000mm

15

密封方式

不锈钢真空法兰

16

气 密 性

真空法兰和刚玉炉管的气密性更高可达4.03×10-3Pa

17

控制模式

智能PID多段程序控温

18

控温精度

±1℃

19

温度曲线

多段"时间—温度曲线"任意可设

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预存曲线

可预存一条温度曲线

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电流监控

指针式电流计

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电压监控

指针式电压计

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整套尺寸

左右：700mm；前后：600mm；高度：1190mm

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超温报警

有

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过流保护

有

26

断偶提示

有

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测温元件

K型热电偶

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电气认证

CE认证

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供电电源

220V 50Hz～60Hz

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整机功率

2.5KW

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气体通道

可连接3种气源

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流 量 计

浮子流量计

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A路量程

10～100ml/min

34

B路量程

16～160ml/min

35

气路压力

-0.1～0.15 MPa

36

系统真空

5～10Pa（需要达到其它真空度时，需选配不同的抽真空装置）

37

真 空 计

标准配置机械真空计，也可选配电子真空计

38

泵路链接

KF16不锈钢波纹管、KF16卡箍、KF16挡板阀

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售后服务

12个月质保，终身保修

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包装形式

三合板木质包装箱

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随机配件

石英炉管、真空法兰、炉管堵塞、O型密封圈、防护手套、坩埚炉钩、说明书、聚四氟管、不锈钢卡套接头、不锈钢波纹管、KF转接头、5mm内六角扳手。