Turbo-V 1K-G-Turbo-V 1K-G涡轮分子泵-杭州庚雨仪器有限公司手机版

详细介绍

Turbo-V 1K-G 不仅是一台泵。该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的专用分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以在高流速的氩气氛围下和温度*的环境中工作。另外，可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 2K-G 成为镀膜工业出色的解决方案。

1、为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案

2、极快的抽速和高气体通量

3、耐用型的设计和高效运行的冷却系统，可实现连续运行

4、能够保护轴承的气体吹扫

5、机架式 Navigator 控制器的样品架类型

6、通用电子器件接口和操作简单的控制软件

7、模拟 I/O 信号和 RS232/RS485 接口（为标准Agilent Profibus 接口选项）

涡轮分子泵应用范例

安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵，其设计旨在实际应用中达到更高性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护，并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商，安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持，或定制适合您的需求的系统。

典型涡轮泵应用

领域	详细说明	应用
质谱和分析仪器	针对质谱系统优化的全系列泵和控制器具有多入口泵组的定制泵低成本、易于使用、高分析性能对于 GC/MS，提供用于相对低气体载荷环境的 1 个真空室和用于分析无机样品的中等真空接口对于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系统对于 ICP-MS，提供多种真空系统，包括用于氩气等重载气的泵和使用氦气的碰撞池对于 TOF 系统，需要较小尺寸、高通量和高效的散热设备	质谱 GC/MS LC/MS ICP-MS TOF
科研中的真空应用	非常清洁、可靠和高性价比的 HV 和 UHV 粗真空轴承未暴露于 UHV，降低了污染高速和高压缩可以以任意角度安装联用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量气体	高能物理融合技术一般 UHV 研究同步光源粒子加速器
工业真空加工	为薄膜沉积应用而专门设计的集成分子泵解决方案适用于原始设备制造商和终端用户的专业性能适用于具有预真空锁或大型内联连续系统的单室批量系统和多室系统的泵	薄膜沉积：玻璃涂层设备（建筑和汽车玻璃，平板显示器）薄膜太阳能电池生产（光电）光学数据介质（CD、DVD、磁光光盘）磁性存储介质表面处理光学涂层（眼科、精密光电）膜或箔上的辊式/卷绕涂覆设备加工：生产电视机和显示器显像管疏散灯（高速公路照明、投影机） X 射线管和电子设备一般工艺：真空炉/冶金
纳米技术仪器	分析从有机化合物到半导体晶片等各类物质全系列的高真空和超高真空泵特别适用于要求严苛的 SEM、TEM 和表面分析系统低振动涡旋泵适用于敏感的显微分析可快速、无油式排空大型样品室内的气体集成的泵控制器可灵活进行控制，几乎不生成电磁噪音非常适合为半导体生产创造合适环境高转速确保能够以高泵速抽空半导体生产中释放的轻质气体（He、H）符合高速循环应用的严格要求，例如真空装载锁通过对多个涡旋泵联用一个前级泵，可提高工具的可靠性联用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量气体安装于支架上的控制器或一体式控制器允许将电子设备放置于远处	电子显微镜（SEM、TEM）聚焦离子束系统 (FIB) 表面分析半导体制造

技术规格

抽速： ISO 160： ISO 200：	Ar：750 L/s Ar：1040 L/s	N₂：810 L/s N₂：1080 L/s	He：950 L/s/ He：1150 L/s	H₂：680 L/s H₂：730 L/s
压缩比：	Ar：5 × 10⁸	N₂：5 × 10⁷	He：4 × 10⁴	H₂ 1.5 × 10⁴
*极限真空（使用推荐的前级泵）**	< 1 × 10^-10 mbar
入口法兰	ISO 160F，ISO 200F
前级管道法兰 ISO 160： ISO 200：	KF 25 NW KF 40 NW
额定转速	45500 rpm
启动时间	< 5 分钟
推荐的最小前级泵	> 20 m³/h (TriScroll 600, DS 602)
工作位置	任意位置
操作环境温度	+5 °C 至 +35 °C
烘烤温度	入口法兰温度 80 ℃（ISO 法兰）
振动参数（位移）	在入口法兰处小于 0.01 μm
冷却要求	水
电源输入电压：100-240 Vac 运行功率：	< 输入频率：50-60 Hz 使用氮气和轻质气体（水冷设置）时为 400 W 使用氩气（风冷设置）时为 260 W	输入功率：600 VA	待机功率：30 至 35 W
保险丝（Navigator 控制器）	1 × 6.3 A
串行通信（Navigator 套件）	RS232 电缆，9 针 D 型	外插头和 9 针 D 型插口，以及 Navigator 软件（可选）
储存温度	-20 °C 至 +70 °C
重量	26.8 kg（59.1 磅）

* 根据德国工业标准 (DIN) 28 428。

Turbo-V 1K-G 外形图

Turbo-V 1K-G 抽速与入口压力关系图

Turbo-V 1K-G 压缩比与前级压力关系图

产品简介

详细介绍