Turbo-V 2300 TwisTorr-Turbo-V 2300 TwisTorr涡轮分子泵-杭州庚雨仪器有限公司手机版

详细介绍

Turbo-V 2300 TwisTorr 泵拥有同类产品中更快的 N₂ 抽速。该泵采用的 Twistorr 技术，是小分子气体压缩比更高的涡轮分子泵。该泵专为科研应用设计，并且采用专用全显示机架控制器进行操作。由于能耐受很高的前级压力，该泵可采用安捷伦 TS600 等经济实惠的小型干式涡旋泵作为前级泵。

特性

1.Turbo-V2300解决方案包括独立式泵和机架式显示控制单元

2.*的转子设计与TwisTorr技术相结合，可减少泵的级数

3.*的整体型转子可减少材料应力并改善组装件容差

4.电机可缩短启动时间并在气体负荷变化情况下提高泵的稳定性

5.热耗散更低，真空性能更高

6.*的水冷系统

7.优化的风冷系统

8.洁净的免维护真空

9.采用了安捷伦A-PLUS软件（原T-plus）

涡轮分子泵应用范例

安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵，其设计旨在实际应用中达到更高性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护，并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商，安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持，或定制适合您的需求的系统。

典型涡轮泵应用

领域	详细说明	应用
质谱和分析仪器	针对质谱系统优化的全系列泵和控制器具有多入口泵组的定制泵低成本、易于使用、高分析性能对于 GC/MS，提供用于相对低气体载荷环境的 1 个真空室和用于分析无机样品的中等真空接口对于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系统对于 ICP-MS，提供多种真空系统，包括用于氩气等重载气的泵和使用氦气的碰撞池对于 TOF 系统，需要较小尺寸、高通量和高效的散热设备	质谱 GC/MS LC/MS ICP-MS TOF
科研中的真空应用	非常清洁、可靠和高性价比的 HV 和 UHV 粗真空轴承未暴露于 UHV，降低了污染高速和高压缩可以以任意角度安装联用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量气体	高能物理融合技术一般 UHV 研究同步光源粒子加速器
工业真空加工	为薄膜沉积应用而专门设计的集成分子泵解决方案适用于原始设备制造商和终端用户的专业性能适用于具有预真空锁或大型内联连续系统的单室批量系统和多室系统的泵	薄膜沉积：玻璃涂层设备（建筑和汽车玻璃，平板显示器）薄膜太阳能电池生产（光电）光学数据介质（CD、DVD、磁光光盘）磁性存储介质表面处理光学涂层（眼科、精密光电）膜或箔上的辊式/卷绕涂覆设备加工：生产电视机和显示器显像管疏散灯（高速公路照明、投影机） X 射线管和电子设备一般工艺：真空炉/冶金
纳米技术仪器	分析从有机化合物到半导体晶片等各类物质全系列的高真空和超高真空泵特别适用于要求严苛的 SEM、TEM 和表面分析系统低振动涡旋泵适用于敏感的显微分析可快速、无油式排空大型样品室内的气体集成的泵控制器可灵活进行控制，几乎不生成电磁噪音非常适合为半导体生产创造合适环境高转速确保能够以高泵速抽空半导体生产中释放的轻质气体（He、H）符合高速循环应用的严格要求，例如真空装载锁通过对多个涡旋泵联用一个前级泵，可提高工具的可靠性联用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量气体安装于支架上的控制器或一体式控制器允许将电子设备放置于远处	电子显微镜（SEM、TEM）聚焦离子束系统 (FIB) 表面分析半导体制造

技术规格
真空性能

*N₂ 抽速 ()**	N₂：2050 L/s
*He 抽速 ()**	N₂：1800 L/s
*H₂ 抽速 ()**	1500 L/s
N₂ 压缩比	> 8 × 10⁸
He 压缩比	8 × 10⁵
H₂ 压缩比	4 × 10⁴
*极限真空（使用推荐的前级泵）**	10^-10 mbar (7.5 x 10^-11 Torr) (**)
N₂ 前级压力	4 mbar
入口法兰	ISO 250F，CFF 12 英寸（外径）
前级管道法兰	KF 40 NW

其他

额定转速	33300 rpm
使用推荐前级泵，无气体负载的启动时间	< 6 分钟
*H₂ 抽速 ()**	1500 L/s
推荐的最小前级泵	TriScroll 600
工作位置	垂直/倒立
操作环境温度	+5 °C 至 +35 °C
烘烤温度	120 °C (CFF)，80 °C (ISO)
转子温度	120 °C
振动参数（位移）	在入口法兰处小于 0.01 μm
润滑油	性润滑
冷却要求	水
冷却水	建议流速：200 L/h 温度：+15 °C 至 +30 °C 压力：3 至 5 bar（45 至 75 psi）
噪音水平	1 米内小于 60 dB(A)
储存温度	-20 °C 至 +70 °C
环境保护	IP54
重量	ISO 250：54.2 kg（119.5 磅） CFF 12 英寸：55.3 kg（121.9 磅）

(*)：无滤网
(*)：根据德国工业标准 (DIN) 28 428，在*烘烤的无泄漏的测试罩中，用涡轮泵连接一个 CFF 法兰，并采用推荐的前级泵，抽取 48 小后，测试罩内部测得的真空度

称作极限真空
控制器性能指标

输入电压	100-120 VAC，220-240 Vac，1 相
输入频率	50-60 Hz
输入功率	1300 VA
输出电压	64 Vac
输出频率	555 Hz
启动时的输出功率	560 W
额定输出功率	450 W
重量（两种型号）	12.5 kg（28 磅）
安装类别	II
污染等级	2

Turbo-V 2300 TwisTorr 外形图

Turbo-V 2300 TwisTorr 抽速与入口压力关系图

Turbo-V 2300 TwisTorr 压缩比与前级压力关系图

Turbo-V 2300 TwisTorr 泵技术规格

产品简介

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