Turbo-V 1001 Navigator-Turbo-V 1001 Navigator涡轮分子泵-杭州庚雨仪器有限公司手机版

详细介绍

Turbo-V 1001 Navigator 泵提供从 790 至 1050 L/s（视气体而定）的抽速，并且采用 Navigator 产品线中*的技术。安捷伦涡轮分子泵经过优化设计，可以在低压强内实现高压缩比，在大抽气量和高前级压强时实现高强的压差。该泵无油、无污染，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置任意角度安装而不对材料施加应力。典型的平均故障时间 (MTTF) 大于 250000 小时。涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体，并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的专用泵。

特性：

1.功耗更低、性能更佳

2.通过减少发热而节能，并提高可靠性

3.为风冷而优化的冷却翅片

4.通过降低工作温度进一步提高可靠性

5.Turbo-V 81-M MacroTorr 泵具有优化的几何尺寸

6.功率要求低，前级耐压高及可承受高气载

7.可拆卸的前级连接器

8.可连接各种前级泵

9.冷却方式灵活（风冷或水冷）

10.采用安捷伦 A-PLUS 软件（原 T-plus 软件）

典型涡轮泵应用：

安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵，其设计旨在实际应用中达到更高性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护，并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商，安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持，或定制适合您的需求的系统。

典型涡轮泵应用

领域	详细说明	应用
质谱和分析仪器	针对质谱系统优化的全系列泵和控制器具有多入口泵组的定制泵低成本、易于使用、高分析性能对于 GC/MS，提供用于相对低气体载荷环境的 1 个真空室和用于分析无机样品的中等真空接口对于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系统对于 ICP-MS，提供多种真空系统，包括用于氩气等重载气的泵和使用氦气的碰撞池对于 TOF 系统，需要较小尺寸、高通量和高效的散热设备	质谱 GC/MS LC/MS ICP-MS TOF
科研中的真空应用	非常清洁、可靠和高性价比的 HV 和 UHV 粗真空轴承未暴露于 UHV，降低了污染高速和高压缩可以以任意角度安装联用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量气体	高能物理融合技术一般 UHV 研究同步光源粒子加速器
工业真空加工	为薄膜沉积应用而专门设计的集成分子泵解决方案适用于原始设备制造商和终端用户的专业性能适用于具有预真空锁或大型内联连续系统的单室批量系统和多室系统的泵	薄膜沉积：玻璃涂层设备（建筑和汽车玻璃，平板显示器）薄膜太阳能电池生产（光电）光学数据介质（CD、DVD、磁光光盘）磁性存储介质表面处理光学涂层（眼科、精密光电）膜或箔上的辊式/卷绕涂覆设备加工：生产电视机和显示器显像管疏散灯（高速公路照明、投影机） X 射线管和电子设备一般工艺：真空炉/冶金
纳米技术仪器	分析从有机化合物到半导体晶片等各类物质全系列的高真空和超高真空泵特别适用于要求严苛的 SEM、TEM 和表面分析系统低振动涡旋泵适用于敏感的显微分析可快速、无油式排空大型样品室内的气体集成的泵控制器可灵活进行控制，几乎不生成电磁噪音非常适合为半导体生产创造合适环境高转速确保能够以高泵速抽空半导体生产中释放的轻质气体（He、H）符合高速循环应用的严格要求，例如真空装载锁通过对多个涡旋泵联用一个前级泵，可提高工具的可靠性联用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量气体安装于支架上的控制器或一体式控制器允许将电子设备放置于远处	电子显微镜（SEM、TEM）聚焦离子束系统 (FIB) 表面分析半导体制造

技术规格：

抽速：	ISO 160： CFF 10 英寸或 ISO 200： ISO 250：	N2：790 L/s N2：950 L/s N2：1050 L/s	He：820 L/s He：870 L/s He：900 L/s	H2：860 L/s H2：900 L/s H2：920 L/s
压缩比：	ISO 160	N2：1 × 10⁹	He：1 × 10⁷	H2：1 × 10⁶
*极限真空（使用推荐的前级泵）**	< 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr)
抽气口法兰	ISO 160 ISO 200	ISO 200-F 螺栓	CFF 10 英寸	ISO 250 ISO 250-F 螺栓
前级管道法兰	KF 40
转速	38,000 rpm
启动时间	小于 4 分钟
推荐的前级泵	机械：Agilent DS 402 旋涡式干泵：Agilent TS300，IDP-15
工作位置	任意
冷却要求	强制通风或水冷
烘烤温度	抽气口法兰温度 120 °C（CF 法兰）抽气口法兰温度 80 ℃（ISO 法兰）
振动参数（位移）	在抽气口法兰处小于 0.01 μm
重量 kg（磅）：	ISO 160 法兰 ISO 200 法兰 CF 10 英寸法兰 ISO 250 法兰 ISO 200-F 和 250-F 螺栓法兰，CF 10 英寸法兰	19 (41.8) 19.4 (43.0) 25.5 (54.2) 21.2 (46.6) 25.5 (54.2)

* 根据标准 DIN 28 428。
可选 Navigator 泵机一体控制器、½ 架装控制器或者 PCB 控制器；
关于控制器的更多信息，请查看以下页面。

Turbo-V 1001 Navigator 订购详情

Turbo-V 1001 Navigator 外形图

Turbo-V 1001 Navigator 抽速与进气口压力关系

Turbo-V 1001 Navigator 压缩比与前级压力关系

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