AgilentVacIonPlus复合泵集成了钛升华泵技术，能够实现超高真空。钛升华泵(TSP)能够以*的抽速抽取活性气体，而离子泵适用于氩气和甲烷等非活性气体。可以将TSP添加到离子泵的内部，或者将其作为一个独立的抽气单元。
复合泵配置适用于VacIonPlus150、300或500，并包含圆柱形低温板、在外侧或底部额外安装的8英寸ConFlat法兰接口以及一个安装至该接口的TSP升华源，以额外提供高抽气速度。
安捷伦提供两种肽升华泵：钛丝源和钛球源。灯丝型TSP源在两次升华之间可以关闭，因此可以避免气体在高温下逸出。球型TSP源含有更多的钛，在需要钛较多（例如较高的操作压力）的条件下，可以使用更长的时间。

性能指标：

功能：

1.活性气体进入到圆柱形低温板底端并与刚沉积的钛结合

2.液氮将低温板冷却，可提高吸收过程的效率并大幅提高对水蒸气的抽速

3.低温板可安装在泵的底部或侧面，当高度有*可灵活配置

4.还提供定制化的配置

性能指标：

VacIon 150 侧面安装 TSP 外形图

VacIon 500 侧面安装 TSP 外形图

VacIon 300 底部安装 TSP 外形图

VacIon 500 底部安装 TSP 外形图

技术规格：

抽速曲线：

性能指标：

外形图：

技术规格：

性能指标：

外形图：

性能指标：

外形图：

不同蒸发速率下抽速与压力的关系：

技术规格：