安捷伦的 VacIon Plus 离子泵系列具有适合各种抽速的 Diode、Noble Diode 和 StarCell 型号。Diode VacIon Plus 离子泵通常用于抽空电子器件的通用超高真空 (UHV) 系统中及高分辨电子显微镜中。Noble Diode VacIon Plus 离子泵用于以恒定的压力抽除混合气体的超高真空应用中，因此适合在粒子加速器、同步加速器环和表面分析应用中提供超高真空。StarCell 的设计使其能抽除大量惰性气体和氢气的离子泵。它还能以高速度和大容量抽除甲烷、氩气和氦气。StarCell VacIon Plus 离子泵适合需要在 10 ^-8 mbar 或以上压力下稳定工作的应用。

特性：

1.单元室采用优化设计，可限度提高排放强度和抽速
2.离子泵在真空状态下运输
3.具有宽广的抽速范围（从 0.2 l/s 至 1000 l/s）
4.可提供多种泵体配置
5.联锁的真空密封穿导件连接方便，并可避免腐蚀和限度缩小泵的总体尺寸
6.三种不同的抽气单元可抽除所有可能的气体混合物
7.专用陶瓷绝缘子可延长泵的寿命
8.提供扫描电子显微镜 (SEM) 版本

性能指标：

技术指标：

(*) 根据 ISO/DIS 3556-1-1992 测试

抽速与进气口压力关系

外形图：