工作原理：
PED的检测原理是在检测器石英小池周围加以高频、高强度的电磁场，在高频、高强电磁场的作用下载气和杂质气体被电离为具有较高的能量的等离子体（plasma）。当样品进入检测器的石英小池之后，被等离子体电离并发出不同波长的光，根据波长不同设计不同的滤光片。背景组分发出的光不能通过被检测组分的滤光片，这样就避免了主组分的干扰，光信号经光电二极管转化为电信号。所以，PED检测器是一种选择性的检测器。

典型应用：
◆ 电子工业用气体/高纯气体/特种气体杂质分析；
◆ 气体充装/标准气配置分析；
◆ 石化化工/煤化工痕量碳氢及杂质检测；
◆ 制氢/氯碱/多晶硅等化工类行业气体分析；

PED可检测杂质灵敏度（ppb）


规格参数