特性一览

• 对于 N2 和空气，覆盖高达 5,000 slm 的量程
• 可与 molbox1+ 或现有的 molbox1 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用
• 重量校准支持可靠的流量文氏管（音速）喷嘴操作原则
• 污染物敏感度极低
• 测量不确定度：
  对于 molbox1+，可达到 ±0.125% 读数
  对于 molbox1，可达到 ±0.2% 读数
  对于 molbox RFM，可达到 ±0.5% 读数
• 可以使用空气、N2、Ar、He 和其他校准气体，可以对环境气体进行潮湿气体密度补偿
• 利用 molbox1+S 或其他 molbox 型号加上真空，可实现量程可调性（10:1 调节）。
• 冗余的上游绝压测量使用 molbox 绝压传感器来降低不确定度并提高可靠性
• 完整的气体温度调节和测量
• 连续、实时的读数，就像传统的 molbloc-L 层流元件一样
• 可以实现全自动

molbloc-S 量程

通过 molbloc-S 的质量流速可直接与上游绝压以及独立的下游压力或压力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的压力到流量转化率 K_F 定义。K_F 的单位为 sccm/kPa，它定义了质量流量与传送到 molbloc-S 的上游绝压之间的关系。molbloc-S 校准工作是针对与 20 到 200 kPa（3 到 30 psia）、50 到 500 kPa（7 到 70 psia）或 200 kPa 到 2 MPa（30 到 300 psia）的上游压力相对应的量程执行的。

为了使流量测量有效，molbloc-S 文丘管喷嘴处的流量很重要，例如，气体速度等同于本地音速。当背压率足够低时可以达到关键流量，或保持 BPR 不变（molbloc-S 下游绝压除以上游绝压）。关键流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 和 0.9 之间，具体取决于流量的雷诺数。

由于通过 molbloc-S 的质量流量与上游绝压成比例，molbloc-S 的流量量程在应用中的限值受 BPR 限值的影响。要使 molbloc-S 元件的量程，必须在下游连接一个真空泵，减少流动时的下游压力。当下游压力足够低时，就可以将上游压力以及质量流速调节到针对 molbloc 校准类型的最小值，而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大气压作为下游（无真空泵），则molbloc 所使用的上游压力必须介于其校准类型的压力到当 BPR 等于当前雷诺数下的 BPR 限值时的最小压力之间。molbox1 终端包括了一些功能，可测量 BPR，在 BPR 值过高时自动提示操作人员，避免在流量非关键时进行测量。