硅料电阻率测定仪
技术参数
1. 测量范围、分辨率
电阻： 1.0×10-2 ～ 2000 Ω, 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×10 Ω
电 阻 率： 1.0×10-2～ 200 Ω-cm 分辨率0.1×10-2 ～ 0.1 Ω-cm
方块电阻： 1.0×10-1 ～ 2000Ω/□ 分辨率1.0×10-1 ～ 0.1×10 Ω/□
2. 可测半导体材料尺寸
直 径：测试台直接测试方式 Φ15～130mm，其他方式不限.
长（或高）度：测试台直接测试方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3. 量程划分及误差等级
量程 | 2.000 | 200.0 | 20.00 | 2.000 | 200.0 |
kΩ-cm/□ | Ω-cm/□ | mΩ-cm/□ |
基本误差 | ±1%FSB±2LSB | ±1.5%FSB±4LSB |
4) 适配器工作电源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W，或电池供电
5) 外形尺寸：W×H×L=18cm×7.5cm×13cm
净 重：≤0.5kg
