蔡司场发射扫描电镜的日常维护

　　蔡司扫描电镜是价格昂贵、精密复杂的大型仪器，因此,不但要求实验室管理员能够规范的操作仪器，更需要管理员能对其进行精细的日常维护[12-15],以确保机器处于正常的工作状态。以下介绍了ZEISS Sigma 500热场发射扫描电镜的日常维护情况。

　　1电镜室维护

　　做好日常清洁工作,保持电镜室整洁、无尘;利用空调和除湿机等外部手段调控室内温度和湿度环境,使室内温度处于20士5C之间,湿度保持在60%以下,以防扫描电镜各部件损坏。定时检查氮气瓶气量开关是否打开,保证出口压力指针处于0.3~0.4MPa之间。

　　2真空系统维护

　　扫描电子显微镜属于高真空系统的仪器。场发射扫描电镜需长期保持开机状态以确保电镜具有优良的真空值:电镜的系统真空( System vacu-um)-般要求在10~'mbar以上,电子枪真空(Gunvacuum)- .般要求在10-9 mbar以上。如果发生停电或维修等特殊情况,来电后应尽快开机，稳定后检查系统真空和电子枪真空是否在工作范围内。

　　若停电时间过长造成真空度下降过多，则需进行烘烤操作(- -般需要烘10h,晾4h)。

　　3配件维护

　　定时检查机械泵的油液面是否在安全线以上。若油液面在安全线以下或泵油颜色变深,则应立即添加或更换泵油;每半年更换一次密封圈，防止因密封圈老化影响抽真空的效果。

　　定期清洗样品台、送样杆以及离子溅射仪样品室等易受污染的部件，以防受到灰尘等杂质的污染而影响真空效果。清洗时可使用防静电无尘布蘸取酒精进行擦拭。

　　定期检查水冷机循环水,一般每学期换一次循环水。若发现水位低于警戒线,应立刻添加去离子水;若发现循环水混浊变质应立刻更换，防止因循环系统堵塞和结垢造成水循环系统工作效率降低。

　　更换时需先关机,清洗水箱后再加去离子水,并倒人半瓶抑菌剂,以防藻类和细菌生长。