蔡司热场发射扫描电镜SIGMA 500采用了GEMINI电子束无交叉光路设计，打破了传统设计中电子束交叉三次发生能量扩散的局限性，束流大小适中，极大地降低色差对图像质量的影响;镜筒内置电子束加速器，无需切换减速模式就可实现高质量低电压成像，低20V可成像，且对样品类型无限制;镜筒物镜采用静电透镜加电磁透镜组合，工作距离范围内没有磁场，能在高倍率下观察磁性材料;镜筒内正光路安装的环形二次电子探测器In-Lens;圆柱形一体化超大样品室，配有5轴全自动优中心样品台，能装直径250mm的超大样品;可将同一品牌的电镜与光镜联合观察(选配)，只需一个通用样品夹和关联软件为Shuttle & Find,可以充分发挥光镜及电镜的各自优势。

　　产品参数

　　(1)电子源：GEMINI镜筒，高稳定性Schottky热场发射电子枪。

　　(2)物镜系统：电磁/静电式物镜系统，电子束无交叉光路设计。

　　(3)高真空SE分辨率：0.8nm@15kv, 1.4nm@1kv

　　(4)加速电压：20V～30 kV，以10 V步进连续可调，无需切换减速模式。

　　(5)探针电流：4pA-20 nA，束流稳定性优于 0.2 %/h。

　　(6)放大倍率范围：10×～1,000,000×(照片放大倍率)。高倍率与低倍率连续可调，无需任何模式转换。

　　(7)探测器系统：样品室内二次电子探测器1个;镜筒内正光轴环形高效二次电子In-lens探测器1个;

　　样品室内HDBSD高分辨背散射电子探测器1个;红外CCD样品室观察系统1个。

　　(8)样品室形状及尺寸：样品室是由整块钢件掏空制成的为圆柱形、厚壁、整体结构样品室,抗磁，防震，抗噪声效果好。

　　样品室直径或宽度要求不小于350mm，高度或深度不低于250mm;

　　(9)样品台类型：5轴马达样品台，抽屉式安装，采用双操纵杆控制盒控制。移动范围：X>125mm;Y >125mm;Z >40 mm;T≥-4º~+70º;R=360º。

　　(10)能谱仪工作条件：工作距离8.5 mm，X射线出射角35°。

　　(11)物镜光阑：7孔光阑，*的电磁式自动选择与电子束对中。

　　(12)X射线能谱仪(牛津)

　　探测器：分析型SDD硅漂移电制冷探测器，晶体面积30mm2。超薄窗设计, 无需液氮冷却，仅消耗电能。

　　能量分辨率：MnKa保证优于127eV, 元素分析范围: Be4～Cf98。

　　圆形对称芯片，独立封装FET场效应管，避免X射线轰击。

　　谱峰稳定性：1,000cps到100,000cps，MnKa峰谱峰漂移小于1eV，分辨率变化小于1eV, 48小时内峰位漂移小于1.5eV。