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微光零位仪
用途及主要特点
微光零位仪采用牛顿反射式系统,主要用于检测白光、微光产品的零位走动量、光轴一致性。
附加分辨率板,亦可测试白光/微光产品的分辨率像质指标。附加红外十字分划板和红外光源,亦可测量红外热像产品的零位走动量。
主要技术指标:
物镜有效口径:φ300mm;
物镜焦距:2000mm;
中心遮挡:φ85mm;
面型:抛物面反射镜;
面型精度:RMS优于λ/40 ,λ=632.8nm。;
零位走动量粗测通过分划板格值测量,最小格值30″,精确测量通过电控测量,最小格值优于1″。