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产品用途：
本系列产品采用气浮和伺服控制技术，结合本公司自主研发的QMS3D自动测量软件，可实现高效、准确的大批量工件测量，适用于精密零部件的检测和质量控制。在机械、电子、五金、塑胶等行业中都得到了广泛的应用。
特点：
行程大，测量范围更广；
自主开发QMS3D软件，可满足客户不同测量需求；
具有快速自动对焦、自动寻边，强大的编程和自动测量功能；
采用亚像素细分技术，提高边界分辨能力；
配置操纵手柄，亦可软件程控；
SPC数据处理分析，大批量治具测量；
X、Y、Z轴伺服控制，定位精度高速度快，运行平稳；
程控恒流驱动式八区表面冷光光源，可适应复杂的工件测量；
花岗石直线度和玻璃平面度好，花岗石导轨无摩擦、不磨损；
可通过激光指示器寻找被测工件的具体位置，快速定位，方便快捷。
技术规格参数：
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参数/ 型号 | VMS-0810H | VMS-1012H | VMS-1215H | |
| 机 台 结 构 | 玻璃台尺寸(mm) | 1208 × 885 | 1408×1085 | 1708 × 1285 |
| X、Y轴运动行程(mm) | 800×1000 | 1000×1200 | 1200×1500 | |
| X、Y轴速度(mm/s) | 300 | |||
| Z轴运动行程(mm) | 200 | |||
| 外形尺寸(m) | 2.17×2.38×1.56 | 2.37×2.58×1.56 | 2.57×2.88×1.56 | |
| 整机重量(kg) | 3260 | 3750 | 4520 | |
| 光 学 系 统 | 光源 | 表面光源--LED表面环形光源 底光源--LED新型直线光源 | ||
| 光栅尺分辨力 | 0.5um | |||
| X、Y示值误差 | (3＋L/200)um | |||
| 激光平面度测量 | 重复性3um(选配激光位移器时) | |||
