工作台

运动行程(mm) 

300x200x200

400x300x200 

500x400x200 

外形尺寸(mm) 

866x740x1750

1740x1066x1750 

1116x940x1760 

仪器重量(kg) 

360

400 

520 

承重(kg) 

35

35

30

测量精度

XY轴

 ≤(3+L/200)um

Z轴

 ≤(4+L/200)um

光栅尺 

进口开放式光栅尺，分辨率0.5um

CCD 

SONY彩色摄像机

光学系统 

自动变倍镜头；可选配激光，可测量透明式玻璃的厚度和平整度 

 照明系统

连续可调式LED环形表面光及轮廓光，根据放大倍率确定光强

软件系统 

QuickMeasuring 全自动影像测量软件

 工作环境

20 ℃ ± 3 ℃，温度45～75%