OPTIV REFERENCE 543/763/海克斯康+OPTIV REFERENCE 系列 3D 影像-电子/半导体检测仪器
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OPTIV REFERENCE 系列
超高精度型复合式 3D 影像测量系统
超高精度复合式技术
OPTIV REFERENCE 是海克斯康影像测量仪中精度的多传感器产品。所有轴上都有空气轴承,测量精 度在亚微米范围内。机器可以配备革命性的 OPTIV 双 Z 轴设计,通过在两个独立的垂直轴上安装触发和光 学传感器,减少设置和检查时间。
海克斯康+OPTIV REFERENCE 系列 3D 影像
OPTIV REFERENCE
型号:OPTIV REFERENCE 543/763/10103/543 Dual Z/763 Dual Z/10103 Dual Z
精度 (μm):Exy:0.8+L/600 起
·多样的传感器,触发式接触测头、连续式扫描测头和测头更换架, TTL 同轴激光,CWS 共聚焦白光传感器,精密转台;
·灵活的光学镜头选择:电动变焦镜头、 2-Step Zoom;
·全花岗岩结构,Y 轴导轨采用了精密 V 形燕尾导轨设计;
·REFERENCE 系列机型固定桥式,移动工作台结构;
·精密滚珠丝杠,*驱动,有效减少了阿贝误差;
·固定桥式超高精度型 3D 复合式影像测量系统;
·完善的气动平衡和优化的气浮轴承分布;
·配置工业级高清晰度黑白 CCD 相机;
·同轴光,透射光,多段表面环形光;
·双 Z 轴设计 (DuaZ 机型 );
·HA 或 UHA 高精度机型可选;
·配备 PC-DMIS VISION 软件。