MT-30A型-热式质量流量控制器-成都研创众诚科技有限公司手机版

产品简介

MT-30A系列质量流量计/控制器由质量流量传感器，分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应尔制成采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的影响，将传感器测得得流量信号进行放大，然后与设定的电压值进行比较，用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通

详细介绍

概要：

MT-30A系列质量流量计/控制器由质量流量传感器，

分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部

件组成。

本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细

管壁温度分布的热传导分布效应尔制成

采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流

量，可以不受温度压力的影响，将传感器测得得流

量信号进行放大，然后与设定的电压值进行比较，

用所得的差值信号去驱动控制调节阀门，闭环控制

流过通道的流量使之与设定的流量相等。

●标准

本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准件和命名方法。SJ/T10583-94 以及SJ37 所规定的通用技术条产品尺寸127×28×100mm

质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。

质量流量的单位规定为：SCCM(标准毫升/分)

SLM(标准升/分)

标准状态规定为：温度--273.15K( 0℃ )

气压--101325pa(760mm Hg) F.S(Full Scale):满量程值

特点：

MT-30A系列可应用在5SCCM-30SLM的气体流量范围

并且不会受到温度及压力变化的影响，应用范围广

●模拟式质量流量计/控制器

·低单价 ·环境温度补正 ·可应用流量范围广

·0-5，10，20，30，50，100，200，500SCCM

·0-1, 2 , 3 , 5 , 10, 20 , 30SLM

●高精度

·±1%F.S（≤15SLM） ·±2%F.S（＞15SLM）

●小体积

●可选用MT-1A流量显示仪或MT-1B流量积算仪配

套使用。

●输入，输出，供电

·输入设定电压…………0～+5.00V

·输出电压检测…………0～+5.00V

●基本参数

功能		流量计/控制器
基本型号		MT-30A
满量程流量范围(N₂)	SCCM	0～5，10，20，30，50，100，200，500
	SLM	0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
精度(％F.S)		±1(≤15SLM)
		±2(＞15SLM.)
控制阀动作型式		常闭式
线性(％F.S.)		±0.5～1(≤15SLM)
		±2％(＞15SLM.)
重复精度(％F.S.)		±0.2
响应时间(sec)		≤1
流量输出信号		0-+5.00V
流量设定信号		0-+5.00V
电器接头		DB15 pin(接头)
工作环境温度	(℃)	5～45
工作压差	(MPa)	0.1～0.5
漏率	SCCSHe	1×10^-9
大耐压		3MPa
介质接触材质		304，316，316L
密封材料		氟橡胶，硅橡胶，聚四氟乙烯
接头		VCR " 1/4、1/2
		Swagelok1/8”、1/4” 、3/8” 、1/2”或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm
接头和尺寸		Φ6mm,1/4"Swagelok:127×28×100mm 1/4"VCR:127×28×100mm
电源要求		+15V,50mA;-15V,200mA
重量		0.75KG