自动水滴角测量仪是为半导体晶圆水滴性能测试设计的全自动表面水滴角测试仪器,特别适合晶圆涂层和光刻工艺的工艺控制。
自动水滴角测量仪特点：
-全自动水滴角接触角映射
-自动样品定位的电动晶片台x/phi
-电动自动加药给液装置
-自动液滴放置
-软件控制全自动测量
-视频图像中测量结果形成文档
水滴角测量仪满足超净间使用要求,步进电机驱动x/phi位移台,实现晶片上的任何点都可以快速移动,几秒钟完成自动测量,打印出测量结果。
水滴角测量仪测试液滴由自动给液装置。水滴的图像立即显示为PC屏幕上的高质量实时视频图片。测量由一次按键启动。软件确定接触角度并立即用图形表示，如同用数字数据表示一样包括在内。每秒仅1秒的快速测量时间删除排除错误。SURFTENS HL自动担保zui高再现性和测量精度结合易于操作。