晶圆接触角测试仪是为晶圆表面加工质量检测而设计的光学接触角测试仪,提供晶圆表面接触角和表面能分析,以评估附着力、清洁度和涂层。
尽管晶圆接触角测试仪是为晶圆表面分析而设计,但它适合任何需要位移台行程较大的应用,可轻松容纳尺寸高达W12“x L12”x H.75“的样品。
晶圆接触角测试仪VCA 3000S采用精密相机和*的PC技术，捕捉液滴的静态或动态图像，并确定接触角测量的基础切线。手动或自动注射器提供测试液体的简单分配。计算机化的操作消除了人为错误的线条绘制和捕捉动态图像的时间敏感分析。数据和图像存储在计算机中，以便以后分析或方便地传输到其他软件应用程序。
晶圆接触角测试仪应用
HMDS工艺的涂层评定
表面污染检测
粘合剂和底漆制备
涂层均匀性
涂层质量
表面清洁度

晶圆接触角测试仪特点
高分辨率摄像机，带放大镜和高强度LED照明，可精确拍摄图像
300mm旋转台，允许进入晶圆的所有区域
PC是高性能视频板的标准配置，用于高级图像分析和视频捕获
平板显示器
自动接触角成像与计算
动态液滴捕捉（液滴的电影观看）
表面能（达因/cm）分析
统计过程控制