基本参数

测量范围

X轴：0-200mm可选

Z轴：0-620mm可选

Z1轴：6mm,2mm

轮廓传感器线性精度：≤±0.07%f.s.(95mm测杆)

粗糙度传感器线性精度：≤±(12nm + 3%)

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一次测量，实现高精度轮廓分析及粗糙度分析
技术特点

·一次测量，实现粗糙度、波纹度、轮廓分析

·实现全范围内的粗糙度、波纹度测量

·X向采用新型数字式传感器，精度更高，Z1采用自主研发高精度多段式电感传感器

多段式高精度传感器具有大量程，大限度保持了传感器的原有精度。

采用高刚性高精度免维护直线运动导轨，精密控制系统。

采用高速并行数据采集单元，硬件触发、硬件高速采样，无延时；足够密集及稳定的数据源为后期数据处理、计算提供有力的保障。

主要技术参数

驱动器 行程 采数间隔 轮廓直线度 粗糙度残值

标准测杆量程 分辨率

Z1轴传感器 轮廓线性精度 粗糙度线性精度 粗糙度重复性

z轴立柱 行程

平台（含防振台架） 尺寸

规格

100~220mm

0.05~2 卩 m

W0.3~0.5|_im/100mm

<0.005-0.025pim

±2mm; ±100卩m;

0.015卩m(±2mm)； 0.8nm(±100|im)

W ±0.07% F.s.

W±(12nm + 3%)

18W3nm

320~620mm

500mm* 800mm； 500mm*1000mm；

测量功能

轮廓测量：各种类型工件表面的线要素，点要素、点与点的距离、线与线的距离、各要素的位置度包括距离、平行度、垂直度、角度、槽深、槽宽、半径，可进行直线度分析、凸度分析。

轮廓分析：Pa、Pt、Pp、Pv、Pz、Pq、Psm、Psk、Pku、Pmr

粗糙度测量：Ra、Rp、Rv、Rz、Rz（jis）、R3z、RzDIN、Rzj、Rmax、Rc、Rt、Rq、Rsk、Rku、Rsm、Rs、R△q、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、Rmr

波纹度参数：Wa、Wt、Wp、Wv、Wz、Wq、Wsm、Wsk、Wku、Wmr