移相点衍射干涉仪

FPDIF-D7移相点衍射干涉仪

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2024-05-02 07:57:10
130
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孚光精仪(中国)有限公司

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产品简介

移相点衍射干涉仪用于表面形状和透射波前质量的超高精度测量

详细介绍

移相点衍射干涉仪用于表面形状和透射波前质量的超高精度测量。
移相点衍射干涉仪检测表面或波前的图形。数字是指从参考(即亚波长孔径衍射产生的球面波阵面)计算测量形式。
性能指标
峰谷精度:±0.6 nm(λ/1000)
峰谷分辨率:0.05 nm(λ/12000)
波前RMS重复性:<0.23 nm(λ/2800)
简单RMS重复性:<0.06 nm(λ/10500)
激光类型和波长:稳定的He-Ne,632.8 nm
数值孔径NA:0.55(f#0.91)
数据采集:相移干涉测量法(PSI)
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