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型号 | Navima150 | Navima300 | Navima500 | Navima750 |
焦距 | 150mm | 300mm | 500mm | 750mm |
孔径比率 | f/4.0 | f/3.9 | f/6.5 | f/9.7 |
机械扫描范围 | 0-900nm | 0-1400nm | 0-1400nm | 0-1400nm |
分辨率 | 0.4nm | 0.1nm | 0.05nm | 0.03nm |
光栅安装架 | 双光栅turret | 三光栅turret | 三光栅turret | 三光栅turret |
光栅尺寸 | 40x40mm^2 | 68x68mm^2 | 68x68mm^2 | 68x68mm^2 |
线性色散 | 5.4nm/mm | 2.7nm/mm | 1.7nm/mm | 1.1nm/mm |
波长精度 | 0.25nm | 0.2nm | 0.2nm | 0.2nm |
驱动步进 | 0.01nm | 0.005nm | 0.005nm | 0.005nm |
标准狭缝 | 0.01-5mm,精密可调 |