晶圆ESD测试仪是为晶圆和器件接地静电测试设计的ESD分析测量仪器,可用于人体模型（HBM）、机器模型（MM）、传输线脉冲（TLP）、极快传输线脉冲（VF-TLP）和人体金属模型（HMM）。
晶圆ESD测试仪2针式设置减少了测试仪的寄生性，它可以捕获波形数据，并且可以自动测试数千针。
晶圆ESD测试仪“全波形”ESD测试仪一个系统提供所有2针封装零件、裸模的ESD试验，和晶圆级器件可扩展以提供全面的ESD测试是否符合ESD标准和工程评估。
晶圆ESD测试仪的波形发生器具有：
人体模型，传输线脉冲,极快传输线脉冲,超快传输线脉冲,人体金属模型
晶圆ESD测试仪PurePulse的集成控制设备测试平台、示波器和源测量单元（SMU）.
晶圆ESD测试仪特点
模块化设计，便于扩展和定制
构建您现在需要的系统-根据您的自身要求
添加脉冲发生器、自动化和/或新探测
满足未来需求的选项
一致的软件界面
其他制造商的发电机和设备
手动和自动测试
成套设备用带插座的测试夹具板
手动晶圆探测
带自动步进软件的飞行探针
DUT响应测量和显示
可验证测试：示波器记录的应力波形
高分辨率源仪表自动测量
检测故障级别
直流曲线跟踪

晶圆ESD测试仪规格参数
HBM
电压+/-4KV (可选8KV)
2-Pin DUT接触
电压和电流波形记录
TLP
电压：+/-1kV
脉宽：100ns
上升沿：2ns, 10ns
电流和电压波形记录
VF-TLP
电压：+/-750kV
脉宽：1ns, 2ns, 5ns, 10ns
上升沿：100ps
HMM
电压+/-16KV
2-Pin DUT接触
电压和电流波形记录
MM
电压+/-400V
2-Pin DUT接触
电压和电流波形记录
DC漏电： 100pA 地板
DC偏置：高达10个偏置供应，+/-40V
电动定位器：Signtone FP-100
晶圆测试：Signatone 半自动探针台