桌面型高性能磁控溅射系统 Desktop Pro提供了一种高性能，小巧，实惠的磁控溅射系统 节省空间 Desktop Pro只需要不到36英寸的空间（0.9m） 节省费用 一个电源可以驱动两个靶枪 均匀性好 倾斜的靶枪和旋转工件盘使得在整个工件盘上达到5%的镀膜均匀性 抽真空速度快 抽速65lps的涡轮分子泵，保证系统优秀的抽真空性能和对反应气体的负载能力 Desktop Pro产品彩页下载

强大的控制系统 基于PLC的触摸屏控制系统提供下列操作模式：维修模式，手动操作模式和半自动操作模式 互锁保护避免不适当操作对人员和设备的损害

典型应用 磁控溅射 磁控溅射 材料研究 产品质量控制和分析 半导体失效分析 纳米技术 复合半导体

可选项	磁控溅射
液氮冷阱
共溅射
射频/直流溅射电源
多靶枪
质量流量控制器，精确控制气体流量
泵选项
无油机械泵