● 两个炉体在一个滑轨上面，和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果

● 连续工作温度:1100℃

● 两个炉体都可以设置30段升降温程序

● 输出频率: 13.56 MHz ±0.005%

● 射频功率: 500W

● 匹配: 自动匹配

● 噪音: <50 dB.

● 冷却: 空气冷却

● 输入电源: 208-240VAC, 单相, 50/60Hz

● 采用VRD-16的双旋真空泵, 极限真空10E-3 Torr

● KFD25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连

● 管内真空可达10E-2 Torr

● 四个精密的质量流量计(精度1.5% ) ：数字显示，自动控制

● MFC1范围: 0~100 sccm

● MFC2和3: 0~200 sccm

● MFC4范围: 0~500 sccm

● 一个混气罐，底部装有泄废液口

● 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体

● 进气口: 4个1/4NPS

● 出气口: 4个 1/4NPS.

● 采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制

● 可选购气液混合装置，用于CVD系统

● 高纯石英管，尺寸50mm O.D x 44mm I.D x1800 mm L

● 配有一套不锈钢密封法兰，并且上面安装有真空计

● 输入电源 24V，1A DC（配有一电压转换器）

● 测量范围 3.8x10-5 -1125 Torr.

● 数据显示 数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr

● 接头 KF16 接头

● 产品尺寸 46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

● 手套箱尺寸：780mm(L) x 700mm(W) x 650mm(H)

● 带有除水系统：保持水含量< 2 ppm

● 一真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管相连接