薄膜计可分为式和差压式。把0帕定作零点标准的规称为式,把任意压力值定作零点标准的规称作差压式。它的优点主要是性能稳定,精确度高,灵敏度与气体种类无关;结构牢固、抗振动、寿命长;并可测蒸气和腐蚀性气体的压力。缺点主要是预热时间很长,可能会影响工作。

校准电容薄膜计时,应注意以下五点:

(1)传感器调零时,首先应用标准信号将控制线路的零点和满度调好,将温度补偿器调到所需要的位置上,测量中不可随意变动。

(2)传感器调零应在其预热4小时后进行,必要时可(10～24)小时的恒温加热,才能使电容规达到零点,也才能测得更精确。

(3)传感器调零的位置,应比校准范围下限低2～3个量级。如量程是1000Torr,则校准范围是133. 3Pa～133300Pa。零点在真空系统抽到1. 3Pa 或0.13Pa位置左右时才能调节,其余量程以此类推。

(4)调零以后,校准过程中环境温度不能有骤然变化的现象发生。

(5)在校准过程中,避免传感器过大的振动。