Alicat流量计/流量控制器中，一般内置有温度、绝压、差压三种传感器。部分产品还内置了大气压传感器用于测量表压。

在FP-25大气采样流量校准器中还内置了湿度传感器，用于补偿空气中的水蒸气对流量测量的影响。

如果温度、绝压或差压其中一种传感器异常，都会对流量测量的准确性造成影响，影响依次增大。

一、影响传感器的因素

温度传感器影响因素

温度传感器内部接线不良，剧烈震动，或电路板损坏，或超出温度量程使用有可能导致温度显示异常。

建议：

温度传感器一般不容易出现故障，尽量不要超出温度量程使用，常规型号温度量程为-10~60°C。

绝压、表压、差压传感器影响因素

1.静压超量程可能导致绝压、表压传感器损坏。

2.流量超量程，或差压超出耐受范围，或瞬时压差过大可能导致差压传感器损坏。

3.气体流量计/流量控制器内进水、进油或其他杂质，可能导致压力传感器损坏、误差变大或读数不稳。

4.流量控制器PID未调好导致阀门剧烈抖动、流量剧烈波动，也可能导致压力传感器损坏。

5.传感器缺陷。

说明：自2018年下半年以来，我们的产品经历了软件和硬件的全面升级，使用了质量更好、性能更稳定的压力传感器配件，大大降低了传感器的损坏概率。

Alicat流量计/流量控制器耐压性能

建议：

1.保持流量计/流量控制器处于正常工作压力范围内，防止压力超量程、瞬时压差过大。

2.保持介质干燥洁净，防止杂质、油污、液态水进入。

3.避免将不耐腐蚀的流量计/控制器用于腐蚀性介质。

4.设备调试时将MFC的PID调至合适的状态，防止因PID问题导致的阀门抖动、流量大幅波动。

二、判断传感器是否正常

1.在有流量的情况下查看温度、压力、流量的读数是否稳定且正确，可与其他同类型参考流量计的读数做对比。如果发现对比差异很大，有可能传感器不准确了，可进行下一步检查。

2.将流量计/控制器断开气源，断开管路使传感器通大气，在常温无流量的情况下查看温度、压力、流量读数是否正常。此时温度读数应比较稳定且接近环境温度，压力读数应稳定且接近当前大气压，流量读数应稳定且接近0。大部分地区大气压在14PSIA左右，如果流量计通大气时压力读数偏离大气压太多，说明绝压传感器可能损坏了。

3.如果在有气流通过和无气流通过的情况下，流量读数均显示为0，则差压传感器应该已经损坏。

下图是一个绝压传感器损坏的流量控制器，可以看出在通大气的情况下屏幕左上角压力读数明显异常，偏离当前大气压。