Servomex DF-760E 含水量和含氧量测量仪

DF-760E超微量水分分析仪是一款结合库伦电量法和可调谐激光二极管传感器的分析仪，适合在超高

纯电子级气体中检测微量级杂质水含量以实现质量控制。
产品特点

水分测量采用高度稳定的可调谐激光二极管传感器

氧气测量采用非消耗型传感器，保修期长达5年

低维护

一台仪器适用于多种背景气体测量

典型应用

集成电路板工厂的大宗气体质量控制

密闭性检测

规格

气体类型： O2

技术库伦电量法非消耗型电化学传感器可调谐激光二极管

性能

最大工作量程： 0-20ppm 0-20ppm

最小推荐输出范围： 0-1ppb 0-2ppb

基本误差（精度）： +/- 3%读数或+/- 0.1ppb（以最大者为准） +/- 3%读数或+/- 0.2ppb（以最大者为准）

响应时间(T90): 小于15秒在1升/分下小于3分钟

零点漂移/月： 可忽略可忽略

量程漂移/月： 可忽略可忽略

检测限（LDL）： 75ppt 200ppt

失常恢复时间： 恢复到以前稳定读数±10ppb内不超过5分钟恢复到以前稳定读数±10ppb内不超过5分钟

标配功能

输出： 水分和氧气测量均采用隔离4-20mA dc并可选0-1、0-2、0-5或0-10V dc（可在标定期间设置冻结模拟输出）

输出范围： 可比例调整至0-2ppb或0-20ppm之间的任意范围

声光报警： 4个氧气含量、4个水分含量、温度、电解液状态、水分传感器诊断、低流量、零点验证或标定进行中、水分分

析仪掉线、标定期间氧气模拟输出冻结控制

双比例范围： 两个自定义次要模拟输出范围，在超出主要范围后可重新比例调整输出

继电器触点： 4个非闭锁触点，可独立分配给氧气报警或氧气标定进行中指示器，以及4个非闭锁触点，可独立分配给水分报

警。SPDT触点额定值为30V dc，5 A。

串行通信： 出厂配置RS 232或RS 485双向串行通信

气体输送系统： 采用气动无弹簧隔膜阀、零死体积对焊组件实现传感器隔离和零点验证；大容量净化器滤除任何水分和氧气，

确保高精度零点（不适用于氧气样本）；伴热温控型送样系统；低接触面积的集成压力调节器；带流量控制

的旁通回路；¼” VCR进口接头、¼” 卡套旁通出口接头、至真空源的¼”卡套出口接头、⅛”气动气体卡套入

口接头。

引射器真空源： 引射器入口和出口带¼”卡套接头

安装： 19”机架安装NEMA 1外壳

选项

泵真空源： 泵入口和出口带¼”卡套接头

氢气安全系统吹扫： 氢气配套的可选安全系统包括：送样联锁、壳体吹扫阀和可选外部真空泵的NEMA 4外壳和Z型吹扫保护系统。

真空泵的NEMA 4外壳和Z型吹扫保护系统为选配（注：氢气安全系统将继电器数目由4个限定为3个）。

样气

温度： 10°C至80°C（50°F至176°F），建议将采样线路加热至60°C

露点： 环境温度以下5°C (9°F)

条件： 无油、非腐蚀性、非凝气

尘埃： 小于2μm微粒

排空： 大气压。

样气流量： 2至5 l/min（仅适用于氮气）—其他背景气体请联系仕富梅

旁通流量： 0.25至2.5l/min

样气压力： 30至150psig（3.08至11.3 BarA）

DF-760E超微量水分分析仪是一款结合库伦电量法和可调谐激光二极管传感器的分析仪，适合在超高

纯电子级气体中检测微量级杂质水含量以实现质量控制。
产品特点

水分测量采用高度稳定的可调谐激光二极管传感器

氧气测量采用非消耗型传感器，保修期长达5年

低维护

一台仪器适用于多种背景气体测量

典型应用

集成电路板工厂的大宗气体质量控制

密闭性检测

规格

气体类型： O2

技术库伦电量法非消耗型电化学传感器可调谐激光二极管

性能

最大工作量程： 0-20ppm 0-20ppm

最小推荐输出范围： 0-1ppb 0-2ppb

基本误差（精度）： +/- 3%读数或+/- 0.1ppb（以最大者为准） +/- 3%读数或+/- 0.2ppb（以最大者为准）

响应时间(T90): 小于15秒在1升/分下小于3分钟

零点漂移/月： 可忽略可忽略

量程漂移/月： 可忽略可忽略

检测限（LDL）： 75ppt 200ppt

失常恢复时间： 恢复到以前稳定读数±10ppb内不超过5分钟恢复到以前稳定读数±10ppb内不超过5分钟

标配功能

输出： 水分和氧气测量均采用隔离4-20mA dc并可选0-1、0-2、0-5或0-10V dc（可在标定期间设置冻结模拟输出）

输出范围： 可比例调整至0-2ppb或0-20ppm之间的任意范围

声光报警： 4个氧气含量、4个水分含量、温度、电解液状态、水分传感器诊断、低流量、零点验证或标定进行中、水分分

析仪掉线、标定期间氧气模拟输出冻结控制

双比例范围： 两个自定义次要模拟输出范围，在超出主要范围后可重新比例调整输出

继电器触点： 4个非闭锁触点，可独立分配给氧气报警或氧气标定进行中指示器，以及4个非闭锁触点，可独立分配给水分报

警。SPDT触点额定值为30V dc，5 A。

串行通信： 出厂配置RS 232或RS 485双向串行通信

气体输送系统： 采用气动无弹簧隔膜阀、零死体积对焊组件实现传感器隔离和零点验证；大容量净化器滤除任何水分和氧气，

确保高精度零点（不适用于氧气样本）；伴热温控型送样系统；低接触面积的集成压力调节器；带流量控制

的旁通回路；¼” VCR进口接头、¼” 卡套旁通出口接头、至真空源的¼”卡套出口接头、⅛”气动气体卡套入

口接头。

引射器真空源： 引射器入口和出口带¼”卡套接头

安装： 19”机架安装NEMA 1外壳

选项

泵真空源： 泵入口和出口带¼”卡套接头

氢气安全系统吹扫： 氢气配套的可选安全系统包括：送样联锁、壳体吹扫阀和可选外部真空泵的NEMA 4外壳和Z型吹扫保护系统。

真空泵的NEMA 4外壳和Z型吹扫保护系统为选配（注：氢气安全系统将继电器数目由4个限定为3个）。

样气

温度： 10°C至80°C（50°F至176°F），建议将采样线路加热至60°C

露点： 环境温度以下5°C (9°F)

条件： 无油、非腐蚀性、非凝气

尘埃： 小于2μm微粒

排空： 大气压。

样气流量： 2至5 l/min（仅适用于氮气）—其他背景气体请联系仕富梅

旁通流量： 0.25至2.5l/min

样气压力： 30至150psig（3.08至11.3 BarA）