真空垂直式

控制系统：触摸屏炒作，PLC控制系统

自动控制反应过程

根据处理材料设定不同的处理工艺流程

测定真空泵压力，抽真空时间，充气速度，工作压力，处理时间温度，RF射发生器输入功率等指标

检测所有的运行指标，保证在设定范围之内。

设定操作，维护密码。

RF发生器 0-2500W可调kHZ发生器 电源 380V AC 50HZ 40A 

反应气体：一个气体输入端口，多可拓展5个，含气体流量控制器（MFC）

气体输入：至今1/4“管道，输入压力 1Bar

安全性能 急停开关，真空泵保护锁，高温保护锁，CE安全认识。    

控制系统：触摸屏炒作，PLC控制系统

自动控制反应过程

根据处理材料设定不同的处理工艺流程

测定真空泵压力，抽真空时间，充气速度，工作压力，处理时间温度，RF射发生器输入功率等指标

检测所有的运行指标，保证在设定范围之内。

设定操作，维护密码。