主要规格

规格描述

X射线激发系统

垂直上照式X射线光学系统

空冷式微聚焦型X射线管，Be窗

标准靶材：Rh靶；任选靶材：W、Mo、Ag等

功率：50W4-50kV，0-1.0mA－标准

         75W4-50kV，0-1.5mA－任选

X射线管功率可编程控制

装备有安全防射线光闸

滤光片程控交换系统

根据靶材，标准装备有相应的一次X射线滤光片系统

二次X射线滤光片：3个位置程控交换，Co、Ni、Fe、V等多种材质、多种厚度的二次滤光片任选

位置传感器保护装置，防止样品碰创探测器窗口

准直器程控交换系统

zui多可同时装配6种规格的准直器，程序交换控制

多种规格尺寸准直器任选：

－圆形，如4、6、8、12、20 mil等

－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等

测量斑点尺寸

在12.7mm聚焦距离时，zui小测量斑点尺寸为：0.078 x 0.055 mm

使用0.025 x 0.05 mm准直器

在12.7mm聚焦距离时，zui大测量斑点尺寸为：0.38 x 0.42 mm

使用0.3mm准直器

X射线探测系统

封气正比计数器

装备有峰漂移自动校正功能的高速信号处理电路

样品室

CMI900

CMI950

－样品室结构

开槽式样品室

开闭式样品室

－zui大样品台尺寸

610mm x 610mm

300mm x 300mm

－XY轴程控移动范围

标准：152.4 x 177.8mm

任选：50.8mm x 152.4mm

50.4mm x 177.8mm

101.6 x 177.8mm

177.8 x 177.8mm

610mm x 610mm

300mm x 300mm

－Z轴程控移动高度

43.18mm

XYZ程控时，150mm

－XYZ三轴控制方式

多种控制方式任选：XYZ三轴程序控制、XY轴手动控制和Z轴程序控制、XYZ三轴手动控制

－样品观察系统

高分辨彩色CCD观察系统，标准放大倍数为30倍。

50倍和100倍观察系统任选。

激光辅助光自动对焦功能

可变焦距控制功能和固定焦距控制功能

计算机系统配置

IBM计算机：2.8G奔腾IV处理器，256M内存，1.44M软驱，40G硬盘，CD-ROM，鼠标，键盘，15寸液晶，56K调制解调器。惠普或爱普生彩色喷墨打印机

分析应用软件

操作系统：Windows2000中文平台

分析软件包：SmartLink FP软件包

－测厚范围

可测定厚度范围：取决于您的具体应用。

－基本分析功能

无标样检量线测厚，可采用一点或多点标准样品自动进行基本参数方法校正。牛津仪器将根据您的应用提供必要的校正用标准样品。

样品种类：镀层、涂层、薄膜、液体镀液中的元素含量

可检测元素范围：Ti22 – U92

可同时测定5层/15种元素/共存元素校正

组成分析时，可同时测定15种元素

多达4个样品的光谱同时显示和比较

元素光谱定性分析

－调整和校正功能

系统自动调整和校正功能：校正X射线管、探测器和电子线路的变化对分析结果的影响，自动消除系统漂移

谱峰计数时，峰漂移自动校正功能

谱峰死时间自动校正功能

谱峰脉冲堆积自动剔除功能

标准样品和实测样品间，密度校正功能

谱峰重叠剥离和峰形拟合计算

－测量自动化功能

要求XY程控机构

鼠标激活测量模式：“PointShoot”

多点自动测量模式：随机模式、线性模式、梯度模式、扫描模式、和重复测量模式

测量位置预览功能

激光对焦和自动对焦功能

－样品台程控功能

设定测量点

One or Two Datumn reference Points on each file

测量位置预览图表显示