a）分析速度高。测定用的时间与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。

　　b）X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。大多数分析元素均可用其进行分析，可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围为Be到U。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定。

　　c）非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。

　　d）X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。

　　e）分析精密度高。

　　f）制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。

　　当然，也有一些不足之处，具体如下：

　　a）难于作分析，故定量分析需要标样。

　　b）对轻元素的灵敏度要低一些。

　　c）容易受相互元素干扰和叠加峰影响。