能量色散型X荧光光谱仪是一种波长较短的电磁辐射，通常是指能t范围在0.1^-100keV的光子。X射线光谱仪与物质的相互作用主要有荧光、吸收和散射三种。X射线荧光光谱仪是由物质中的组成元素产生的特征辐射，通过侧里和分析样品产生的x射线荧光，即可获知样品中的元家组成，得到物质成分的定性和定量信息。

特征能量色散型X荧光光谱仪的产生与特性当用高能电子束照射样品时，人射高能电子被样品中的电子减速，这种带电拉子的负的加速度会产生宽带的连续X射线谱，简称为连续潜或韧致辐射。另一方面，化学元素受到高能光子或粒子的照射，如内层电子被激发，则当外层电子跃迁时，就会放射出特征X射线。特征X射线是一种分离的不连续谱。如果激发光源为x射线，则受激产生的x射线称为二次X射线或X射线荧光。特征x射线显示了特征x射线光谱仪产生的过程。

当能量色散型X荧光光谱仪撞击原子中的电子时，如光子能量大于原子中的电子束缚能，电子就会被击出。这一相互作用过程被称为光电效应，被打出的电子称为光电子。通过研究光电子或光电效应可以获得关于原子结构和成键状态的信息。在这一过程中，如人射光束的能量大得足以击出外射原子中的内层电子，就会在原子的内壳层产生空穴，这时的原子处于非稳态，层电子会从高能轨道跃迁到低能轨道来充填轨道空穴线的形式释放，原子恢复到稳态。