特点

国内同类产品价格低

稳定性和可靠性高

±0.2％F.S.的高重复精度

满量程可以在 5SCCM到 10SLM的范围内任意定制

可应用于大多数腐蚀性气体

同类产品尺寸小

安装尺寸兼容

应用

真空镀膜设备

微反应装置

晶体制备设备

混气配气设备

燃烧测试设备

产品规格
流量规格(N2标定) 0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
流量规格(N2标定) 0～1,2,3,5,10 SLM
准确度 ±1.5％F.S.
调节阀类型 常闭式
线性 ±1.5％F.S.
重复精度 ±0.2％F.S.
响应时间 ≤3sec
输入输出信号 0～+5.00V (输入阻抗大于100kΩ，输出电流不大于3mA)
电缆接头 DB15pin(针形)
工作环境温度 5～45℃
工作压差范围 0.1～0.5MPa (≤10SLM)
对外单点泄漏率 ≤1×10-8Pa·m3/S(He)
大耐压 3MPa