产品特点：

·位移过程的高稳定性

·最小单位位移达62.5纳米

·方便的旋钮调节移动设计

·3轴电动控制行程25mm

·第4个球形轴结构供微电极在X，Y，Z轴心点移动，旋转DIP开关可进行角度设定

·ROE按钮可使微电极回到Home位置以便更换，或使其从当前位置移动至工作位置处

·ROE可使微电极以微米级单位在轴向连续移动

·DIP旋转器为旋转ROE在轴向上的移动进行角度方向的选择

·紧凑型模块化设计方便设置时的需要

·通用支架系统帮助固定夹持器和微电极

·设备附带安装适配器

技术参数：

行  程：3轴电动控制行程1英寸（25mm）

单位位移：0.0625, 0.125, 0.25, 0.5, 1.0 and 2.0(um/ustep) 6档可选，最小单位位移62.5纳米，可旋转编码器旋钮得到更大单位位移。

速率：2mm/s

传动误差：小于0.5μm/20h

传动装置：完整的微型步进电机消隙装置

尺  寸

主  机：4×5.5×6（in）10×15×15.5（cm）

控制器：16×11×3.75（in）40.6×28×9.6（cm）

重  量

主  机：2.95lbs/1.3kg

控制器：10lbs/4.5kg

电源电压：115/230V  50/60Hz