痕量气体在线分析仪

痕量气体在线分析仪

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2023-02-21 07:41:09
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产品简介

概要实现对高纯度气体连续监测,主要应用于空分和半导体行业。实现对高纯度气体中的痕量杂质气体 (CO, CO2 和 CH4) 的感度连续测量。

详细介绍

概要

实现对高纯度气体连续监测,主要应用于空分和半导体行业。

实现对高纯度气体中的痕量杂质气体 (CO, CO2 和 CH4) 的感度连续测量。

特征

感度分析

操作简单,无需维护

 

典型应用

一般情况下,作为工业用气体使用的氧气,氮气是通过空气分离来制造的。

首先将除去水分和CO2的原料空气通入分离装置,分离装置时利用氮气、氩气和氧气三者气体的沸点不同进行分离出不同气体。

氢气和氦气也是利用类似的气体分离装置制备。

GA-370测量实例。高纯度氮气、氩气、氧气制造行业痕量气体的测定。

除去水分、CO2后原料气体中痕量气体的测量。

 

测量原理

交替流动调制方式双光路非分光红外吸收原理

GA-370用一束红外光透过检测室射入检测器,测量过程中通过切换电磁阀将采用气体和参比气体切换通入检测室。

测量样气和参比气体使用相同的气体(例如零点气体)时,无法产生调制信号,因此不会产生漂移,解决了 痕量气体分析中的零点漂移宜问题。

而且使用双光路检测气室,以相反的相位导入测量样气和参比气体,可实现了长期安定稳定运行,无需光学调整。

 

 

气体流程图

规格

型号

GA-370

可测量的气体种类 

CO, CO2, 和CH4

高纯气体种类 

N2, O2, He, Ar, H2, 空气

测量组分数目

1 组分或 2 组分
(由平衡气体种类决定)

测量原理

交替流动调制方式
双光路非分光红外吸收原理

量程 

0 to 1/2/5/10 ppm

低检出限 (2σ) 

10 ppb

重复性

≤ ± 2% F.S.

直线性

≤ ± 2% F.S.

零点量程

≤±0.02ppm/天,≤±0.03ppm/周

量程漂移 

≤±2% F. S./天 ,≤±3%F .S./周

响应时间(T90)

≤ 180s

流量 *

测量氧气:约 3.5 L/min;参比气体:约 3.5 L/min
量程气:约 3.5 L/min
(注: 测量样气和参比气体的推荐压力值为50-100 kP)

模拟输出

多可选两路绝缘输出 (2 组分);
0 -1 V,0 -10 V,0 -16 mA,4 - 20 mA,0-20mA
中可选1路
电流输出: 允许负载电阻750Ω或以下

安装环境

环境温度0- 40°C

环境湿度

≤85%

颗粒物 

低于环境空气基准

震动 

0.29 m/s2,频率≤100 Hz

外形尺寸和重量

430(W) × 221(H) × 555(D) mm (含突起部分);约18 kg

电源

100 - 240 V AC,≤ ±10% (大电压 :25 0V )

功率

约100 VA

* 注 1) 参比气体和量程气由用户提供,气瓶的精度需满足测试要求。
* 注 2) GA-370 痕量气体分析仪在特殊场合下并不安全。例如,在含H2的环境中使用时需配合防爆小屋以避免爆炸。

 

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