Cygnus 2 薄膜沉积控制器

为 OLED 应用提供*佳测量精度

Cygnus 2 薄膜沉积控制器在 INFICON 薄膜沉积控制器可靠成熟的性能基础上，增添了更多的功能，可帮助您实现 OLED 过程的*大价值。Cygnus 2 使用我们 ModeLock 频率测量系统，提供稳定、高分辨率的速率和厚度测量，速率分辨率可达每 1/10 秒 0.00433 Å/s，是行业中的。Cygnus 2 具有其他石英晶体控制器的性能、品质和功能，赋予您的过程**的可重复性。

功能

• INFICON ModeLock 技术确保获得*高、*稳定的速率和厚度测量分辨率，即使在速率极低的情况下
• Auto Z 技术通过自动测定沉积材料的 Z 比值，可提高厚度测量的精度
• 一个 Cygnus 2 即可同时、单独或以任何组合方式控制*多 6 个来源，无需使用两个或三个控制器
• 彩色 TFT LCD 显示屏使用户很容易看到过程的进展状况
• 10 Hz 测量
• 100ms 样本速率下频率范围为 +/-0.0035 Hz
• USB 数据存储功能可存储屏幕截图、配方存储和数据记录
• 多个源厚度合计功能
• 测量低密度、低速率材料的平均速率（使用稳定源的低速率 OLED 掺杂材料沉积*多 30 秒）
• 速率显示分辨率可达0.001Å
• 4 米 XIU 选件能够在大型系统中使用较长的真空传感器电缆
• 无沉积控制允许持续控制源，因为基片可以通过沉积室不断循环
• 6 个标准 DAC 输出和另外 6 个可选输出用于来源控制、速率或厚度监控
• 可选以太网通信
• 符合 RoHS 标准