Micro-Flow（微流量）传感器技术的一种特殊形式叫做 Mass Extraction（质量提取）技术，是为了达到更高的灵敏度，在真空条件下进行测试。该方法结合传感器设计，在连续体/滑流条件（浅真空）和过渡/分子流状态（较高真空）下运行。该技术还可用于包装或电子机箱等密封容器的泄漏测试。

                                                                                                

使用质量流量技术在真空条件进行的空气泄漏测试

  还可进一步设置，例如，直接连接 UUT。将被测单元置于压力条件低至 1 mbar 或更低的真空室中。在腔室抽真空之后，腔室和真空容器之间的余流可用于确定被测零件的泄漏率。 凭借该方法，灵敏度可达 7 · 10-7 mbar · l/s。

                                                                                             
ATC （真空质量提取法） 检漏仪     产品特点
 

• 特别适用于密封物体（例如 CCIT*）
• 不使用示踪气体的无损检测
• 非常高的灵敏度——检测低至 7 · 10-7 mbar · l/s (<2 μm) 的泄露率
• 用于更大缺陷的独立粗略泄露测试——快速可靠地检测略粗泄露
• 受环境变化的影响最小——大大减少了环境变化造成的虚假结果
• 高准确性——允许设定较高产率的阈值，而不会有通过不良部分的风险
• 可重复性——减少虚假故障，这是一个代价非常高的问题
• 对零件尺寸不敏感——一台装置适合多种尺寸的零件，降低风险和时间
• 无需每日校准—具有可追溯测试泄漏的稳定测试条件
• 在行业中获得认可，如制药 USP <1207>——简单的工艺验证