江苏朗高精密仪器有限公司

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公司座机：0517－

概要
品牌朗高找热式气体质量流量好品牌高稳定性的质量流量计－气体流量控制不受上下端压力变化的影响。不同压力感测，采用压力钝感模式。

特征
市场上采用不同压力感测即钝感模式
缩小气体柜的体积（不需要压力传感器，调压阀和过滤器）
流量控制量程范围厂
精度高
增加产能－可以提供标准流量给半导体制程。
品牌朗高找热式气体质量流量好品牌规格
全面范围（N2）：10 / 20 / 30 / 40sccm 50sccm ~ 10slm
操作入口压力：14kPa（g）~350kPa（g） 250kPa（g）~ 350kPa（g）
出口压力范围：≤13.3kPa（a）、≤53.3kPa（a）
数字模式精度（按半标准E56-1296）：正负百分之零点零五到正负百分之零点三五
数字模式下的控制范围：≥百分之零点五
阀门类型（PIEZO）：正常关闭
线性：正负百分之零点五的FS
可重复性：正负百分之零点三的SP、正负百分之零点零三的FS
响应时间：800msec
证明压力：500kPa（g）
泄漏完整性 lt;5×10-12 Pa?m3/s （He）
防潮材质：SUS-316L，铬镍铁合金
工作温度：15~45℃
流量设定信号：0 ~ 5VDC或RS485 F-NET协议
流量输出信号：0 ~ 5VDC或RS485 F-NET协议
电力需求：± 15V ± 百分之五5，150 mA
配件：1.125英寸，宽1/4VCR
D214
全面范围（N2）：10 / 20 / 30 / 40sccm 50sccm ~ 10slm
操作入口压力：14kPa（g）~350kPa（g） 250kPa（g）~ 350kPa（g）
出口压力范围：≤13.3kPa（a）、≤53.3kPa（a）
数字模式精度（按半标准E56-1296）：正负百分之零点零五到正负百分之零点三五
数字模式下的控制范围：≥百分之零点五
阀门类型（PIEZO）：正常关闭
线性：正负百分之零点五的FS
可重复性：正负百分之零点三的SP、正负百分之零点零三的FS
响应时间：800msec
证明压力：500kPa（g）
泄漏完整性 lt;5×10-12 Pa?m3/s （He）
防潮材质：SUS-316L，铬镍铁合金
工作温度：15~45℃
流量设定信号：设备网
流量输出信号：设备网
电力需求：11~25VDC，4VA
配件：1.125英寸，宽1/4VCR