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Nα-1H气体减压器专为超高纯度气体，半导体用（毒，腐）气体设计，满足超大规模集成电路的使用要求。产品依据严格的标准设计、清洗、生产、测试、包装。
工作条件：
| 进口压力 | 25MPa |
| 出口压力 | 0～0.2MPa，0～0.4MPa，0～0.6MPa |
| 原压变动 | 每0.7MPa压力变化0.005MPa |
| 温度 | -40～+60℃ |
| 内漏率 | ≤1×10-10Pa.M3/Sec.He |
| 外漏率 | ≤1×10-10Pa.M3/Sec.He |
| 内表面粗糙度 | Ra≤0.1μm |
产品特点：
适用于VMB & VMP
提供Hastelloy® 内部件选项
内表面电解抛光处理Ra≤0.1μm
对于CL2、N2O和NH3请选择*配置
每台减压器进行单独的压力测试、功能测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检测
无内部弹簧，内部死体积小，大大减小了颗粒物的存留
主要部件材料：
| 介质 | CL2 | N2O | NH3 | Standard |
| 体接触部分 Wetted parts | ||||
| 阀体 Body | SUS316L(VIM+VAR） | |||
| 膜片 Diaphragm | SUS316L(VIM+VAR）/ Hastelloy® C-22 | |||
| 阀针 Poppet | SUS316L(VIM+VAR） | |||
| 密封垫 Seal | PFA | Vespel® | PTFE | PCTFE |
| 非气体部接触部分 Non-wetted parts | ||||
| 调节手柄 Handle | ABS | |||
| 阀盖 Cap | SUS316L | |||
| 弹簧 Spring | SWP-A | |||
