产品简介

高温应用质量流量控制器 SEC-8000 系列耐温150℃，*大流量1050SLM，概要SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀场/厚礼博品牌的特殊产品, 可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之上等别的超小流量的分析与控制，能够满足复杂多变的半导体制程需求。而HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。

详细介绍

商品详情

高温应用质量流量控制器 SEC-8000 系列

耐温150℃，*大流量1050SLM，

概要

SEC-8000F/D/E 系列是日本horiba堀场/厚礼博品牌的特殊产品, 可以在高温环境下工作, 实现超洁净状况下百万分之上等别的超小流量的分析与控制，能够满足复杂多变的半导体制程需求。而HORIBA集团也为可以给客户提供全系列的产品而感到骄傲。

特征

· 适用于高温：可满足150℃烘焙
· 具备数字式流量计的高精度性能-高控制精度：±1.0% 设定流量.
· 超快速响应
· 超洁净处理
· 满足RoHS 环境标准

特征

它是搭载有压电阀、可在高温环境中使用的质量流量控制器。

适用于高温：可满足150℃烘焙
产品阵容中有可满足使用温度的产品型号
超清洁类型：接气部全不锈钢构造
*适于MOCVD用有机金属材料、低蒸气压材料、腐蚀性气体的流量控制