气体介质要求：洁净、干燥、无腐蚀性的气体

介质种类：Air、N₂、O₂、CO₂、H₂等

量程：0~100sccm；0~500sccm

可控流量范围：0~102%F.S.

精度：±（0.8%RD+0.2%F.S.）RD⸺读数；F.S.⸺满量程

温漂：±0.12%/℃

重复性：±0.5%

零点漂移&满量程漂移：0.05%F.S./年

响应时间（T90）：＜1s

标定工况：20℃，1个大气压

工作温度：0~50℃

工作湿度：＜90%，无冷凝

工作压力：1MPa

输出信号：RS-485；RS-232（可定制）

供电电压：12VDC

材质：主体材质为铝合金、阀体材质为黄铜、密封材质为FKM（Viton）

过程连接尺寸和类型：1/8"NPT外螺纹

安装方式；对位置无要求