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单晶硅烘箱主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。
1,本系列单晶硅烘箱主要用于单晶硅与多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工艺处理。
2,本系列烘箱采用数显温度调节仪进行温度控制、控温灵敏、操作简便、性能可靠,数字直接显 示出工作温度,直观易读。
3,工作室温度可在室温至250℃之间任意恒温;能自动切断电源,保护设备和产品。
4,该设备具有超温报警,恒温计时功能。
■ 单晶硅烘箱箱体结构: 设计*,箱体采用数控机床加工成型,箱门采用*式,操作容易。内胆采用SUS304不锈钢板,外壳为A3板喷塑处理,更显光洁、美观。电路系统侧采用门式开启,方便维护和检修。箱门闭合松紧能调节,整体成型的硅橡胶门封圈,确保烘箱的密闭性。
■ 单晶硅烘箱控制执行系统: 温度控制器采用触摸按键、数显LED显示、PID智能控制仪表; Pt100铂电阻测温传感器;
■ 单晶硅烘箱保护系统: 整机保护系统由超温保护及报警装置构成。保证了执行元器件及试件的完好。
本公司提供以下尺寸、温度等仅供参考,亦可根据客户需求定制非标尺寸:
型号 | 功率 | 电压 | 工作温度范围 | 控温灵敏度(℃ | 鼓风功率 | 工作室尺寸MM | 外形尺寸MM | 容积 |
KW | V | ( ℃ ) | (℃) | W | 深*宽*高 | 深*宽*高 | L | |
1 | 2.8 | 220 | 20~250℃ | ±1℃ | 40 | 350*450*450 | 500*810*813 | 70 |
2 | 3.2 | 220 | 20~250℃ | ±1℃ | 40 | 450*550*550 | 600*910*913 | 136 |
3 | 4.2 | 380 | 20~250℃ | ±1℃ | 180 | 500*600*750 | 650*960*1113 | 225 |
4 | 8.2 | 380 | 20~250℃ | ±1℃ | 370 | 800*800*1000 | 1000*1170*1580 | 640 |
5 | 11.2 | 380 | 20~250℃ | ±1℃ | 740 | 1000*1000*1000 | 1200*1370*1580 | 1000 |
6 | 14.2 | 380 | 20~250℃ | ±1℃ | 750 | 1000*1200*1200 | 1200*1570*1780 | 1400 |
7 | 17.2 | 380 | 20~250℃ | ±1℃ | 1500 | 1000*1200*1500 | 1200*1600*2100 | 1800 |
8 | 20.2 | 380 | 20~250℃ | ±1℃ | 2200 | 1200*1500*1500 | 1400*1900*2100 | 2700 |