X 射线光电子能谱仪是一款ESCALAB 系列产品。ESCALAB Xi + 基于可扩展功能、系统优化以及多分析技术的集成化平台，实现了高灵活性和完备的配置选项。前沿技术、直观的软件操作以及硬件配置，带给用户优异的实验结果和生产力。数据系统提供系统控制、数据采集、数据处理与系统运行报告等一站式服务。

分析性能

• 定量能谱成像

• 快速平行成像，分辨率优于1µm

• 无需背底修正探测器

• 高灵敏度和能量分辨率

• 微聚焦单色源

• 元素化学成像分析

• 自动化高效离子剖析源

• 一键式电荷补偿

现代化操作

• 高度自动化

– 分析区域和角度分辨可选

– 自动化气体调节和真空控制

• 随时校准

– 能量的刻度和传输函数的校准

– 离子枪定位和离子束聚焦

• 鼠标点击样品导航和分析设置

– 实时显示分析位置

– 高强度照明

灵活的设计

• 标配ISS和REELS功能

• 标配多功能进样室

•UPS和AES/SEM/SAM/EDS功能可选

• 可选的样品预处理附件，包括：

– 样品断裂台、单晶解理、样品刮片

– 样品加热/冷却装置

– 大面积清洁离子枪

– 高压反应室