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产品系列 | A2C-00-OR | A2C-00-CE | A2C-00-BE |
水质参数 | |||
超纯水电阻率(25℃) | 18.2 MΩ•cm | 18.2 MΩ•cm | 18.2 MΩ•cm |
总有机碳(TOC)* | — | <5 ppb | <1-3ppb |
细菌 | — | <0.1 CFU/ml | <0.1 CFU/ml |
细菌内毒素 | — | — | <0.001 EU/ml |
颗粒物质(>0.2μm) | <1 个/ml | <1 个/ml | <1 个/ml |
重金属离子 | ≤0.1 ppb | ≤0.1 ppb | ≤0.1 ppb |
硅去除率 | >99% | >99% | >99% |
水量参数 | |||
纯水/超纯水各自取水量 | 10 ml~99 L,数值任意设定,精度500ml以内达±2ml,500ml以上±1% | ||
取水流量 | 1~2 L/min | ||
超纯水产水量** | 6,000 L | ||
* 在进水TOC<500 ppb条件下 | |||
** 在进水电导率<5 μS/cm条件下 |