美国Setra真空电容式压力计美国西特730 差压变送器-班奈自动化仪表（上海）有限公司手机版

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Setra 的730 型是一款高精度的电容式压力计（亦称电容式膜片真空计 (CDG)），适合在光伏、半导体和工业市场中测量对过程控制至关重要的低真空范围。该产品读数精度达±0.5%，分辨率高，优于同类产品。730 型使用全InconelTM 接液材料，可承受半导体加工过程中的腐蚀性介质。由于采用直接测量设计，它能精确测量介质，不受应用中气体混合物成分的影响。

适合苛刻应用的高性能产品
采用单膜片可变电容感应元件，适用于苛刻的半导体和工业真空应用。它具有读数精度和分辨率高、动态范围宽的特点，使之成为关键制造过程中的理想选择。

Inconel® 设计保证通用性
所有接液部件均采用Inconel® 材料，因此对半导体和工业真空过程中的腐蚀性介质具有*的耐受性。
Inconel®材料结合全焊接结构，确保730型在这类应用中的长使用寿命。

直接压力测量
内置膜片可在使用点直接测量压力变化。与其他工业电容式压力计不同，730型测量直接压力，不受被测混合气的影响，这使其精度优于间接测量型压力计。

应用
·半导体处理室
·石化
·等离子体灭菌器

·真空包装

规格

性能参数			物理参数		电气参数(电压)
精度¹	±0.5%读数 ±0.25%读数(可选)		压力接口	参见订购信息	激励输出⁴	12-30VDC/0-10VDC 9-30VDC/0-5VDC
响应时间	﹤20MS		接液材料	Lnconel^@	电流消耗	﹤10mA(大值)
分辨率	无限，仅受输出噪声的限制(≤0.005%FS)		电气连接	5针螺钉端子、9针D-Sub或15 针D-Sub接头(位于6^*尾纤上)	输出负载	﹥10KΩ
温度影响²			壳体	不锈钢	输出阻抗	﹤1Ω
补偿范围		0～+50℃	腔室体积	﹤6.0cc	电路	3线制
零点漂移		0.25%FS/50℃	重量(近似值)	﹤250g	压力介质
量程漂移		1.35%读数/50℃	环境参数		与lnoonel^@兼容的气体或液体。lnoonel^@接液材料仅适用于0.5^*管道选项。其他接头选项会添加不锈钢。
*温度性³		0.5%FS/1年,不受环境条件影响	温度
			工作温度	0至+80℃
认证			1.包括非线性、非重复性盒迟滞 3.在80℃下运行时,满量程范围小于100Torr 2.产品在66℉进行标定,大温时为±1.0%FS/年度影响误差由此数据得来 4.采用50KΩ负载进行标定。可在负载≥5KΩ时工作
CE.RoHS

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