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NanoCalc 薄膜反射测量系统
薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250μm的膜厚分析测量，对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同，可以分析单层或多层膜厚。
&nbs的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。
技术参数
入射角 | 90° |
层数 | 3层以下 |
需要进行参考值测量 | 是 |
透明材料 | 是 |
传输模式 | 是 |
粗糙材料 | 是 |
测量速度 | 100ms - 1s |
在线监测 | 可以 |
公差（高度） | 参考值测量或准直(74-UV) |
公差（角度） | 参考值测量 |
微黑子选项 | 配显微镜 |
显示选项 | 配显微镜 |
定位选项 | 6"和12" XYZ 定位台 |
真空 | 可以 |
