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SpecEl 椭偏仪
SpecEl椭偏仪通过测量基底反射的偏振光，进而测量薄膜厚度及材料不同波长处的折射率。SpecEl通过PC控制来实现折射率，吸光率及膜厚的测量。
技术参数
波长范围: | 380-780 nm (标准) 或450-900 nm (可选) |
光学分辨率 | 4.0 nm FWHM |
测量精度 | 厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
入射角 | 70° |
膜厚 | 单透明膜1-5000 nm |
光点尺寸 | 2 mm x 4 mm (标准) 或 200 μm x 400 μm (可选) |
采样时间 | 3-15s (小) |
动态记录 | 3 seconds |
膜层数 | 至多32层 |
参考 | 不需要 |
